การตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการเชื่อมต่อความร้อนที่แข็งแกร่งระหว่างเป้าหมายและผนังระบายความร้อนของปืนสปัตเตอร์ริ่งเป็นมาตรการด้านความปลอดภัยที่สำคัญที่สุดในการติดตั้งเป้าหมายสปัตเตอร์ริ่ง เป้าหมายอาจแตกหักหรือโค้งงอระหว่างการติดตั้ง หากไม้เท้าระบายความร้อนหรือแบ็คเพลนมีการบิดเบี้ยวอย่างรุนแรง นอกจากนี้ยังจะมีผลกระทบอย่างมีนัยสำคัญต่อการนำความร้อนจากเป้าหมายด้านหลังไปยังเป้าหมาย ซึ่งอาจทำให้เกิดความล้มเหลวด้านความร้อนในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ ในที่สุดเป้าหมายก็จะแตกหรือพลาดเนื่องจากการปล่อยก๊าซเรือนกระจก
สามารถวางชั้นของกระดาษกราไฟท์ไว้ระหว่างผนังระบายความร้อนแคโทดและชิ้นงานเพื่อให้แน่ใจว่ามีการนำความร้อนเพียงพอ โปรดทราบว่าคุณต้องตรวจสอบอย่างละเอียดและยืนยันความเรียบของผนังทำความเย็นสำหรับปืนสปัตเตอร์ริ่ง และตรวจสอบให้แน่ใจว่า O- แหวนอยู่ในตำแหน่งเสมอ
เมื่อติดตั้งวัสดุเป้าหมายสิ่งสำคัญคือต้องตรวจสอบและทำความสะอาดถังน้ำหล่อเย็นแคโทดเพื่อให้แน่ใจว่าน้ำหล่อเย็นที่ใช้สะอาดและความสะอาดของสิ่งสกปรกที่อาจเกิดขึ้นระหว่างการทำงานของอุปกรณ์จะสะสมอยู่ในแคโทด ถังน้ำหล่อเย็น สิ่งนี้จะช่วยให้แน่ใจว่าการไหลเวียนของน้ำหล่อเย็นและทางเข้าและทางออกของน้ำเป็นไปอย่างราบรื่น ไม่ถูกขัดขวาง
เมื่อติดตั้งวัสดุเป้าหมาย สิ่งสำคัญคือต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีการสัมผัสกันระหว่างแคโทดกับขั้วบวก และไม่มีตัวนำ เนื่องจากแคโทดบางตัวถูกสร้างขึ้นโดยมีช่องว่างเล็กๆ กับขั้วบวก มิฉะนั้นจะเกิดไฟฟ้าลัดวงจร
สำหรับคำแนะนำที่จำเป็นเกี่ยวกับวิธีการติดตั้งชิ้นงานอย่างถูกต้อง โปรดดูคู่มือการใช้งานที่ผู้ผลิตอุปกรณ์ให้ไว้ โปรดขันสลักเกลียวหนึ่งตัวด้วยมือ จากนั้นจึงขันสลักเกลียวตัวที่สองบนเส้นทแยงมุมด้วยมือ ทำซ้ำวิธีนี้จนกระทั่งใส่สลักเกลียวทั้งหมด จากนั้นขันให้แน่นด้วยเครื่องมือเพื่อยึดอุปกรณ์ยึดเป้าหมาย
