โรงงานเป้าหมายการสปัตเตอร์ที่ใหญ่ที่สุดในโลกปัจจุบันผลิตเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมโดยใช้กระบวนการสองกระบวนการที่แยกจากกัน เกิดขึ้นโดยใช้การขึ้นรูปแบบสเปรย์ ตามเทคนิคการหล่อและการตีขึ้นรูปที่เป็นที่ยอมรับ การเติมวัสดุผสมในระหว่างการผลิตเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมมักส่งผลให้มีการแบ่งแยกเป้าหมาย ซึ่งจะทำให้คุณภาพของฟิล์มสปัตเตอร์และอนุภาคขนาดเล็กมีแนวโน้มที่จะก่อตัวลดลง บนพื้นผิวของเป้าหมายสปัตเตอร์ ซึ่งจะเปลี่ยนลักษณะการกระจายตัวของฟิล์มอย่างสม่ำเสมอ
แม้ว่าปัญหาการเชื่อมโยงที่ระบุไว้ข้างต้นสามารถหลีกเลี่ยงได้ แต่หากเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมถูกผลิตขึ้นโดยใช้กระบวนการขึ้นรูปสเปรย์ที่รู้จัก ก็จะยังคงสร้างเป้าหมายการสปัตเตอร์ ต้นทุนการผลิตเพิ่มขึ้นอย่างมาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อสร้างเป้าหมายการสปัตเตอร์ที่ยากต่อการปลอมแปลงและต้องใช้การปรับสมดุลแบบร้อน
เทคนิคนี้ใช้ผงสเปรย์แก๊สเพื่อสร้างเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียม ซึ่งทำให้การผลิตเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมอลูมิเนียมง่ายขึ้นและราคาไม่แพง ผงโลหะผสมถูกกรองเมื่อเปรียบเทียบกับผงวัตถุดิบของเป้าหมายสปัตเตอร์เพื่อให้ได้ขนาดอนุภาคผงที่เหมาะสม จากนั้นผงจะถูกกดร้อนด้วยสุญญากาศเพื่อสร้างเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียม การสร้างเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมที่แตกต่างกัน (อลูมิเนียม- โครเมียม อลูมิเนียม-ซิลิคอน-ทองแดง อลูมิเนียม-ไทเทเนียม ฯลฯ) สามารถทำได้โดยใช้วิธีการผลิตเป้าหมายสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมด้วยผงสเปรย์ลม
ขั้นตอนที่แนะนำสำหรับการใช้งานคือการจัดหาวัตถุดิบโลหะสำหรับการผลิตเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมอลูมิเนียมและละลายให้เป็นโลหะหลอมเหลว จากนั้นทำผงโลหะจากโลหะหลอมเหลวโดยใช้วิธีพ่นแก๊ส และสุดท้ายให้ความร้อนผงโลหะโดยใช้สุญญากาศ ก่อตัวเป็นโลหะผสมอลูมิเนียมที่จะสปัตเตอร์และผ่านก๊าซเฉื่อยเป็นก๊าซป้องกัน กระบวนการนี้สามารถสร้างเป้าหมายสปัตเตอร์คุณภาพสูงได้รวดเร็วและราคาไม่แพงมากขึ้น ในขณะเดียวกันก็หลีกเลี่ยงข้อเสียของการแยกวัสดุและอนุภาคขนาดเล็ก





