เป้าหมายสปัตเตอร์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในหลายอุตสาหกรรมเนื่องจากความก้าวหน้าทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี วันนี้ ฉันจะแนะนำกระบวนการผลิตเป้าหมายโมลิบดีนัมและเป้าหมายอะลูมิเนียมเป็นส่วนใหญ่
การใช้ผงโลหะวิทยาจะสร้างเป้าหมายที่ว่างเปล่าสำหรับวัสดุเป้าหมายโมลิบดีนัม เป้าหมายที่ว่างเปล่าได้รับการประมวลผลด้วยกลไกและเชื่อมด้วยแบ็คเพลนทองแดงปราศจากออกซิเจน (OFC) ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดเพื่อสร้างเป้าหมายพื้นฐาน เป้าหมายพื้นฐานไม่ทำลายโดยการตรวจสอบการตรวจจับข้อบกพร่องล้ำเสียง อัตราการเชื่อมเชื่อมสูงถึง 98% หรือมากกว่า จากนั้นดำเนินการประมวลผลเชิงกลอย่างละเอียดเพื่อให้แน่ใจว่าวัสดุเป้าหมายมีความแม่นยำและตรงตามการฉายรังสี
กระบวนการผลิตวัสดุเป้าหมายที่เป็นอะลูมิเนียม: ขั้นแรกวัตถุดิบจะถูกสับเป็นชิ้น ๆ ที่โรงงาน ปรับปรุงผ่านการแปรรูปพลาสติกและการบำบัดความร้อนเพื่อสร้างเป้าหมายที่ว่างเปล่า จากนั้นจะถูกประมวลผลด้วยกลไกและทำความสะอาดโดยใช้แบ็คเพลนทองแดงที่ปราศจากออกซิเจน (OFC)
เพื่อให้มั่นใจในความถูกต้องของวัสดุเป้าหมายและสอดคล้องกับสนามไฟฟ้าเป้าหมาย สนามแม่เหล็ก ช่องน้ำหล่อเย็น ฯลฯ การประมวลผลเชิงกลที่ดีจะดำเนินการหลังจากเชื่อมวัสดุเป้าหมายพื้นฐานในสิ่งแวดล้อม วัสดุเป้าหมายพื้นฐานได้รับการทดสอบโดยการตรวจสอบแบบไม่ทำลายด้วยคลื่นอัลตราโซนิก และอัตราการรวมการเชื่อมสูงกว่า 98% ความจำเป็นในการติดตั้ง หลังจากทำความสะอาดและบรรจุในห้องคลีนรูม เป้าหมายที่เสร็จแล้วจะถูกใส่ในถุงพลาสติกเฉพาะเพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน มลภาวะ และความชื้น วิธีนี้จะกำจัดวัสดุอนินทรีย์หรืออินทรีย์ที่อาจเกาะติดกับพื้นผิว





