Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. เชี่ยวชาญด้านการวิจัยและการผลิตแทนทาลัมสปัตเตอร์เป้าหมายและวัสดุเคลือบสูญญากาศ เนื่องจากแทนทาลัมมีความสามารถในการสร้างฟิล์มออกไซด์และมีผลในการป้องกัน เป้าหมายแทนทาลัมจึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นพื้นผิวสำหรับการผลิตตัวเก็บประจุด้วยไฟฟ้า คราวนี้ มีการแนะนำการประยุกต์ใช้เป้าหมายแทนทาลัมสปัตเตอร์ในด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์
เป้าหมายแทนทาลัมสำหรับการใช้งานหัวพิมพ์อิงค์เจ็ทความร้อน
สามารถใช้หัวพิมพ์อิงค์เจ็ทความร้อนในการผลิตวงจรรวมแบบฟิล์มบาง ซึ่งอำนวยความสะดวกในการใช้แทนทาลัมเป้าหมาย ในกระบวนการผลิตวงจรรวม ตัวต้านทานแบบฟิล์มบางจะใช้เพื่อให้ความร้อนแก่ชั้นฟิล์มของหมึกอย่างรวดเร็วด้วยความหนาแน่นของพลังงานใกล้ 1.28E9 วัตต์/ตร.ม. เพื่อให้หมึกขนาดเล็กมากบางตัวระเหยกลายเป็นฟองอากาศขยายออก ซึ่งจริงๆ แล้วมีขนาดเล็ก หยดหมึกออกมา . เนื่องจากหมึกที่มีอุณหภูมิสูงอาจทำให้เกิดการเกิดโพรงอากาศในอุปกรณ์การพิมพ์อิงค์เจ็ทบางประเภท การใช้ฟิล์มป้องกันโพรงอากาศแทนทาลัมจึงสามารถป้องกันการติดตั้งหมึกได้
เป้าหมายแทนทาลัมสำหรับการชุบทองแดง
ฟิล์มบางแทนทาลัมมีข้อดีที่ชัดเจนในกระบวนการผลิตวงจรรวม ความก้าวหน้าที่สำคัญอย่างหนึ่งในการใช้แทนทาลัมเป้าหมายสปัตเตอร์คือการประยุกต์ใช้การชุบทองแดง ไม่สามารถใช้หน้ากากต้านทานแสงและเทคนิคการแกะสลักด้วยพลาสม่าเพื่อสร้างทองแดงได้ เนื่องจากทองแดงอยู่ภายใต้สภาวะการกัดด้วยพลาสม่าที่อุณหภูมิต่ำ องค์ประกอบระเหยที่ต้องการจะไม่เกิดขึ้น โดยทั่วไป วัสดุทองแดงที่มีค่าการนำไฟฟ้าสูงทำให้ฟิล์มกั้นจำเป็นต้องแยกทองแดงออกโดยสมบูรณ์ อย่างไรก็ตาม หากฟิล์มกั้นหนาเกินไป ความได้เปรียบด้านการนำไฟฟ้าสูงของคอนเนคเตอร์ทองแดงจะหายไป ดังนั้นจึงเป็นเรื่องสำคัญที่การทับถมของฟิล์มกั้นในรูปแบบการชุบทองแดงจะต้องครอบคลุมขั้นตอนที่ดีและลดการยื่นออกมาที่ช่องผ่าน/ร่องลึก ในการแทนที่ IC ทองแดง 0.10um ฟิล์มกั้นแทนทาลัมและไนตริกออกไซด์ PVD แสดงข้อดีเฉพาะบางประการ เช่น การแพร่ทองแดงที่ดีและการยึดเกาะที่ดีกับอิเล็กโทรไลต์และทองแดง
ดิเป้าหมายแทนทาลัม 99.98 เปอร์เซ็นต์ผลิตโดย Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. มักใช้เป็นชิ้นส่วนทำความร้อน ชิ้นส่วนฉนวนความร้อน และภาชนะสำหรับชาร์จสำหรับเตาหลอมสูญญากาศ เป้าหมายแทนทาลัมที่ผลิตโดยบริษัทของเราไม่สามารถใช้เป็นสารตั้งต้นในอุตสาหกรรมเคมีได้ , อุตสาหกรรมการบินและอวกาศ, อุปกรณ์ทางการแพทย์ และสาขาอื่นๆ
