เมื่อบรรลุวัตถุประสงค์ ผู้บริโภคจำนวนมากไม่ได้คำนึงถึงมุมมองทางวิชาชีพ ต่อไปนี้คือข้อควรพิจารณาที่ควรทำก่อนซื้อเป้าหมาย
ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในตัวชี้วัดประสิทธิภาพหลักสำหรับโลหะทุกชนิด ประสิทธิภาพของฟิล์มผลิตภัณฑ์ลำดับต่อมาได้รับอิทธิพลอย่างมากจากความบริสุทธิ์ของชิ้นงาน อย่างไรก็ตาม ความบริสุทธิ์ของวัสดุที่ต้องการจะแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับผลิตภัณฑ์
ปริมาณสิ่งเจือปนของเป้าหมายมาเป็นอันดับสอง สารปนเปื้อนในของแข็งเป้าหมายและออกซิเจนและไอน้ำในรูขุมขนเป็นสาเหตุหลักของการปนเปื้อนของฟิล์มที่สะสมหลังจากการบำบัดกระบวนการเป้าหมายหลายชุด ความต้องการเนื้อหาสิ่งเจือปนที่หลากหลายของเป้าหมายสำหรับ วัตถุประสงค์ต่างๆ ก็แตกต่างกันเช่นกันอันเป็นผลมาจากการใช้งานที่แตกต่างกัน ตัวอย่างเช่น มีข้อกำหนดบางประการสำหรับปริมาณโลหะอัลคาไลและองค์ประกอบกัมมันตภาพรังสีของเป้าหมายอะลูมิเนียมบริสุทธิ์และโลหะผสมอะลูมิเนียมที่ใช้ในปัจจุบันในภาคเซมิคอนดักเตอร์
หนึ่งในการวัดประสิทธิภาพที่สำคัญของเป้าหมายคือความหนาแน่น โดยปกติแล้ววัสดุเป้าหมายจะต้องมีความหนาแน่นสูงกว่าเพื่อลดรูขุมขนของของแข็งและเพิ่มประสิทธิภาพของฟิล์มสปัตเตอร์ในกระบวนการทางเทคนิคของวัสดุเป้าหมาย เนื่องจากหลัก ความหนาแน่นเฉพาะของวัสดุเป้าหมายมีอิทธิพลต่อทั้งคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์ม ซึ่งมีผลกระทบอย่างมากต่ออัตราการสปัตเตอร์ ประสิทธิภาพของฟิล์มจะเพิ่มขึ้นตามความหนาแน่นของเป้าหมาย
ขนาดเกรนและการกระจายขนาดเกรนจะมาทีหลัง วัสดุเป้าหมายมักเป็นโพลีคริสตัลไลน์และมีเกรนที่มีขนาดตั้งแต่ไมโครเมตรไปจนถึงมิลลิเมตร ในขณะที่การกระจายความหนาของฟิล์มสปัตเตอร์ที่สะสมโดยเป้าหมายจะมีขนาดเกรนต่างกันน้อยกว่า (การกระจายสม่ำเสมอ) มีความสม่ำเสมอมากกว่า อัตราการสปัตเตอร์ของชิ้นงานที่มีเกรนละเอียดจะสูงกว่าของชิ้นงานที่มีเกรนหยาบสำหรับวัสดุเป้าหมายเดียวกัน
