Apr 20, 2023 ฝากข้อความ

อิทธิพลของการจับเป้าและคุณภาพไลเนอร์ที่มีต่อการเคลือบผิวพื้นที่ขนาดใหญ่

ผลกระทบของการยึดติดเป้าหมายและคุณภาพของไลเนอร์ต่อการเคลือบในพื้นที่ขนาดใหญ่จะกล่าวถึงในบทความนี้ วัสดุบางชนิดที่มีความเหนียวต่ำ เช่น โลหะ โลหะผสม และออกไซด์ที่มีแนวโน้มที่จะแตกร้าว จะได้รับผลกระทบในระหว่างกระบวนการเคลือบ ชิ้นงานแบบหมุนมักจะถูกมัดไว้กับไลเนอร์สแตนเลสในระหว่างการเตรียม และโดยทั่วไปชิ้นงานจะถูกมัดไว้กับแผ่นรองทองแดงเมื่อเกิดการแตกร้าว โลหะอินเดียมหรือสารประกอบโลหะอื่นๆ เป็นส่วนผสมที่ใช้ยึดเกาะบ่อยที่สุด
สามารถช่วยแก้ไขปัญหาบางประการที่เกี่ยวข้องกับการขาดความแข็งแรงเชิงกลของวัสดุเป้าหมายได้ นอกเหนือจากการป้องกันการแตกร้าวของวัสดุเป้าหมายโดยไม่ได้ตั้งใจระหว่างการขนส่ง เพื่อแก้ไขปัญหาการใช้งานเป้าหมายขนาดใหญ่อย่างจำกัด เทคนิคเหล่านี้เกี่ยวข้องกับการต่อเป้าหมายเข้ากับแผ่นด้านหลัง ซึ่งรับประกันการสัมผัสทางไฟฟ้าและการระบายความร้อนของวัสดุเป้าหมายอย่างเหมาะสม พร้อมทั้งป้องกันการแตกร้าวของเป้าหมายและการสปัตเตอร์ที่ไม่สม่ำเสมอ

การนำความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอจะส่งผลให้วัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์ไม่สม่ำเสมอ (การก่อตัวของฟิล์มที่ไม่สม่ำเสมอ) เช่นเดียวกับปุ่มที่พื้นผิวและปรากฏการณ์การปล่อย นอกจากนี้ การก่อตัวของฟิล์มที่ไม่สม่ำเสมอจะส่งผลให้ชั้นฟิล์มมีสีไม่สม่ำเสมอ ซึ่งจะส่งผลต่อการเปลี่ยนแปลงของชั้นอิเล็กทริกโดยขึ้นอยู่กับผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย เพิ่มจำนวนการปฏิเสธการเคลือบอย่างเห็นได้ชัด ด้วยเหตุนี้ คุณสมบัติการยึดเกาะของวัสดุเป้าหมายจึงส่งผลกระทบอย่างมากต่อวิธีการใช้งาน เนื่องจากการทำงานร่วมกันระหว่างการขยายตัวทางความร้อนและการหดตัวของวัสดุเป้าหมายและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของท่อสแตนเลส รูปทรงเรขาคณิต ขนาดของชิ้นงานที่หมุนด้วยโลหะหรือโลหะผสมบางชนิดที่มีค่าการนำความร้อนที่ดีแต่ไม่ต้องการการจับยึด เช่น เป้าหมาย ZnAl, ZnSn และ SiAl จะเพิ่มขึ้นตามอุณหภูมิ

ค่าสัมประสิทธิ์ความสม่ำเสมอของการเปลี่ยนแปลงและการเปลี่ยนแปลงแตกต่างกัน ดังนั้นต้องใช้วัสดุเชื่อมต่อบางอย่างในการติด หากส่วนผสมไม่ดี วัสดุเป้าหมายจะร้อนไม่สม่ำเสมอ การนำความร้อนจะถูกขัดขวาง และการแตกร้าวและการหลุดออกจะ เกิดขึ้น. ปัญหาเหล่านี้จะส่งผลต่อคุณภาพของสารเคลือบและความสามารถในการผลิตสินค้า

โดยทั่วไป วัสดุเป้าหมายที่เป็นเซรามิกจะมีการกระจายความร้อนได้ไม่ดี เนื่องจากวัสดุเป้าหมายมีการสร้างความร้อนสูงในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ เป็นเรื่องง่ายที่จะสร้างความร้อนเฉพาะจุดในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ หากการติดมีพื้นที่ขนาดใหญ่และการติดติดไม่ดี อินเดียมเป็นวัสดุยึดเกาะที่มีจุดหลอมเหลวต่ำ ก่อตัวและละลาย ซึ่งทำให้วัสดุเป้าหมายแตกหรือหลุดออกมา

การเคลือบเป้าหมายขึ้นอยู่กับการยึดติดของวัสดุเป้าหมายและความสามารถของท่อไลเนอร์เป็นอย่างมาก สิ่งนี้เรียกร้องให้ทีมงานมีความเป็นมืออาชีพนอกเหนือจากความตื่นตัวเพื่อให้สามารถฝากภาพยนตร์ที่มีประสิทธิภาพได้

ส่งคำถาม

หน้าหลัก

โทรศัพท์

อีเมล

สอบถาม