ดังที่เราทุกคนทราบกันดีว่าหนึ่งในตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพหลักของเป้าหมายคือความบริสุทธิ์ ความต้องการความบริสุทธิ์ของเป้าหมายแตกต่างกันในการใช้งานจริง การใช้วัสดุเป้าหมายไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงมีราคาแพงกว่าและมีหน้าต่างการใช้งานที่เล็กกว่าไทเทเนียมบริสุทธิ์ทางอุตสาหกรรมทั่วไป นำไปใช้เพื่อให้เหมาะกับความต้องการของภาคส่วนเฉพาะบางกลุ่มเป็นหลัก แล้วอะไรจะเกิดขึ้น การใช้งานหลักสำหรับเป้าหมายไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงคืออะไร
เป้าหมายไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่จะใช้สำหรับ:
1. ส่วนประกอบทางชีวภาพ
เนื่องจากไทเทเนียมไม่ใช่แม่เหล็ก สนามแม่เหล็กแรงสูงจึงไม่ทำให้กลายเป็นแม่เหล็ก ทำงานได้ดีกับร่างกายมนุษย์และไม่มีผลข้างเคียงใดๆ สามารถใช้เพื่อสร้างรากฟันเทียมสำหรับร่างกายมนุษย์ได้ อย่างไรก็ตาม เมื่อพิจารณาถึงการละลายของสิ่งเจือปนในไทเทเนียม ความบริสุทธิ์ของไทเทเนียมสำหรับการปลูกถ่ายจึงควรสูงที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ในทางปฏิบัติ โดยทั่วไป วัสดุไทเทเนียมทางการแพทย์ไม่ถึงระดับของไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง สายรัดทางชีวภาพสามารถทำจากลวดไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง เข็มฉีดไทเทเนียมที่ฝังด้วยสายสวนก็บรรลุระดับไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงเช่นเดียวกัน
2. วัสดุสำหรับตกแต่ง
ไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงยังคงรักษาเฉดสีธรรมชาติดั้งเดิมไว้ได้แม้จะสัมผัสกับบรรยากาศเป็นเวลานาน เนื่องจากมีความต้านทานต่อการกัดกร่อนในชั้นบรรยากาศสูง ด้วยเหตุนี้ วัสดุสำหรับการตกแต่งสถาปัตยกรรมจึงสามารถผลิตจากไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงได้ นอกจากนี้ ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ไทเทเนียม ถูกนำมาใช้เพื่อผลิตเครื่องประดับและเครื่องแต่งกายหรูหราหลายชนิด รวมถึงสร้อยข้อมือ นาฬิกา และกรอบแว่นตา ไทเทเนียมที่ใช้เพราะทนทานต่อการกัดกร่อน ไม่เปลี่ยนสี สามารถคงความเงาได้ดีเป็นเวลานานมาก และไม่ระคายเคืองต่อผิวหนังมนุษย์เมื่อสัมผัสด้วย ระดับความบริสุทธิ์ 5N สำหรับไทเทเนียมที่ใช้ใน มีการตกแต่งบางอย่างสำเร็จแล้ว
3. ผู้รวบรวมวัสดุ
ไทเทเนียมเป็นโลหะที่เกิดปฏิกิริยาโดยเฉพาะโดยมีลักษณะทางเคมีที่ช่วยให้สามารถทำปฏิกิริยากับสารหลากหลายชนิดที่อุณหภูมิสูง การดูดซับก๊าซที่มีฤทธิ์รุนแรงเกิดขึ้นบนพื้นผิวของไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง รวมถึง O2, N2, CO, CO2 และไอน้ำ มากกว่า 650 องศา บนผนังปั๊ม ฟิล์ม Ti ที่ระเหยไปสามารถสร้างพื้นผิวที่มีความสามารถในการดูดซับสูง เนื่องจากคุณลักษณะนี้ Ti จึงมักถูกใช้เป็นตัวทะลวงในระบบสำหรับการสูบสุญญากาศที่สูงมาก แรงดันใช้งานสูงสุดของปั๊มไอออนสปัตเตอร์อาจต่ำถึง 10-9Pa เมื่อใช้ในปั๊มระเหิด ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ ฯลฯ
4. สื่อสารสนเทศในรูปแบบอิเล็กทรอนิกส์
การใช้ไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงในเป้าหมายสปัตเตอร์ วงจรรวม DRAM และจอแสดงผลแบบแบนได้ขยายตัวเมื่อเร็วๆ นี้ อันเป็นผลมาจากการขยายตัวอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูงในด้านต่างๆ เช่น เทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์และเทคโนโลยีสารสนเทศ ก้าวไปข้างหน้า เนื่องจากเป็นสิ่งกีดขวางการแพร่กระจายและวัสดุสายไฟสำหรับอิเล็กโทรดควบคุมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ VLSI สารประกอบไทเทเนียมซิลิคอน สารประกอบไทเทเนียมไนโตรเจน สารประกอบไทเทเนียมทังสเตน ฯลฯ วัสดุเหล่านี้ผลิตขึ้นโดยใช้เทคนิคสปัตเตอร์ ซึ่งเรียกร้องให้มีเป้าหมายไทเทเนียมที่มีค่าสูง ระดับความบริสุทธิ์โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับธาตุกัมมันตภาพรังสีและโลหะอัลคาไล
เมื่อเร็ว ๆ นี้ ไทเทเนียมความบริสุทธิ์สูงที่ตรงกับความบริสุทธิ์ของเป้าหมายไทเทเนียมที่ใช้ในกระบวนการสปัตเตอร์ก็เริ่มถูกนำมาใช้เช่นกัน ความบริสุทธิ์ของไทเทเนียมในปัจจุบันต้องมีอย่างน้อย 4N5 (99.995%) หรือ 5N (99.999%) สำหรับ 4 Mbit VLSI ในขณะที่จะต้องมีอย่างน้อย 6N (99.9999%) สำหรับ VLSI รุ่นที่สาม 16 Mbit
